ВЛИЯНИЕ АРМИРОВАНИЯ ПОЛИИМИДНОГО СЛОЯ ОДНОСМЕННЫМИ УГЛЕРОДНЫМИ НАНОТРУБКАМИ НА ТЕРМОДЕФОРМАЦИОННЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПОЛИИМИД-КРЕМНИЕВЫХ БАЛОК ТЕПЛОВЫХ МИКРОАКТЮАТОРОВ

摘要

Исследованы термодеформационные характеристики одноконсольных полиимид-кремниевых балок тепловых микроактюаторов с введенным в полимерную матрицу дополнительным слоем, модифицированным одностенными углеродными нанотрубками (ОУНТ) с концентрацией 1,25% (мас.) и без дополнительного слоя, после воздействия многоциклового изгиба при заданном температур-но-частотном режиме. Показано, что армирование полиамида введением ОУНТ повышает термодеформационные характеристики полиимид-кремниевых балок и приводит к значительно меньшей скорости деградации термодеформационных углов отклонения последних, что позволяет увеличить срок активного существования и время эксплуатации устройств на их основе.