机译:磁控溅射法从具有孔隙率的多孔硅涂层制备光学多层器件
porous silicon; magnetron sputtering; Bragg reflector; otpical microcavity; lateral gradient;
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机译:脉冲闭合场不平衡磁控溅射沉积TiBCN:CN_x多层涂层
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机译:使用封闭磁场磁控溅射沉积多层光学涂层
机译:通过磁控溅射合成的二硼化钛/碳化钛和氧化钛/氧化铝多层涂层的结构,机械,摩擦学性能和高温稳定性。
机译:射频磁控溅射碳化硅和钨hen基薄膜热电偶保护涂层的热电特性
机译:磁控溅射法从具有孔隙率的多孔硅涂层制备光学多层器件
机译:直流磁控反应溅射制备多层光学镀膜