ミリ波·サブミリ波領域の高精度導波管ベクトルネットワークアナライザ測定技術開発

摘要

近年、アプリケーションで利用される周波数の高周波化が進み、それら評価のための測定器（ベクトルネットワークアナライザ）の測定範囲は1THzを超えている。しかし、この領域の測定確度保証はされておらず、計量標準さらには、測定に適した導波管形状も確立されていない。本発表では、計量標準レベルの高精度な測定技術の開発の現状について解説する。