感光性絶縁フィルムの円筒空洞共振器法によるミリ波複素誘電率評価に関する検討

摘要

高周波回路では、回路の小型·薄型化の需要増加に伴い、薄型試料の複素誘電率評価が必要不可欠となっている。我々は、厚さ1μm以上のフィルム試料に対し、円筒空洞共振器法が有効であることを報告してきた。本研究では、同法の試料厚さに関する測定範囲拡大のために、厚さ5-16μmの感光性絶縁フィルムに対し、36～100GHz帯において複素誘電率の周波数依存性測定を行い、その有効性を検討した。さらに、不確かさ評価を行い、薄型フィルム測定時の注意点について検討した。