ナノ秒パルスパワー電源装置の開発

摘要

本研究では高効率な放電化学処理等に適用可能な電源装置の開発を目的に，ストリーマ放電生成用の電源として，パルス幅が1ナノ秒程度の高繰り返し動作の可能なパルスパワー電源の開発を行った。電源装置の概要と各部の詳細，基本出力特性，この電源装置の性能評価のためのオゾン生成実験の結果と電源装置の改良について述べる。