三次元計測に適したTalbot効果による格子パターンの発生位置の把握手法

摘要

本研究では、三次元計測に適したTalbot効果による格子パターンの発生位置を把握する手法を提案する．投影格子位相解析法による三次元計測において，計測物体に微小なものを対象とするには，格子パターンも微細なものが必要となる．その際にはTalbot効果を用いて微細な格子パターンを作る．Talbot効果による格子パターンは，一定の距離間隔で周期的に発生する特徴がある．そのため，事前に計測試料の設置位置に適した位置を把握する必要がある．そのため本実験では，基準面を移動させながら格子パターンを撮影し，得られた画像から形状計測に適した位置を把握する手法を開発した．