触媒反応支援化学気相成長法における加熱イリジウムワイアによる酸化亜鉛への窒素添加の試み

摘要

我々は、白金(Pt)ナノ粒子表面での水素と酸素の燃焼反応により生成した高エネルギーH_2Oと有機金属ガス(DMZn)を気相中で反応させ生成したZnOプリカーサを基板に供給するCVD法を考案し、a面サファイア基板上にエピタキシャル膜の成長を試みた結果、電気的·光学的特性に優れたn型ZnO結晶膜を得た。p型結晶膜の作製を目指しN_2Oガスを用いてZnO膜への窒素ドーピングを試みてきたが、殆ど膜中への窒素の取り込みが確認出来なかった。今回、一酸化炭素(NO)ガスを窒素源として用いると共に加熱金属触媒体(Ir)表面での分解反応により生成した窒素ラジカルを供給することで窒素ドーピングを試みた。その結果、加熱Irワイアを用いて窒素ラジカルを供給し作製したZnO膜においてZn-N結合成分が増加することが分かった。