機能テストフェイル情報とCADレイアウト抽出ネットリストを用いたLSI故障診断手法

摘要

LSIのCADレイアウトから摘出したネットリストを用いて，外部観測塾テスト装置であるLSIテスタにより故障診断を行い，これにより得られた故障候補を，EBテスタ，LVP（1aservoltageprober），時間分解エツンヨン顕微鏡などの内部波形が観測可能な内部観測型テスト装置（ブローバ）での故障絞込みに括用する手法を提案している?設計時のネットリストや，診断肘テストベクトルの生成を必要としないので，半導体製造メーカーにおける故障診断部門においても?容易に利用することができる?本手法をISCAS｝85ベンチマーク回助に通用し，本手法の有効性を示している．