アルミニウム複合酸化物皮膜の熱水および化学処理による構造変化とアノード酸化処理による皮膜内ポイドの補修

摘要

アルミニウムを沸騰水中に浸液して水和酸化物皮膜を形成した後、アノード酸化して得られる複合酸化物皮膜は、バリヤー型酸化物皮膜に比べて高いアノード電場を支持出来るなどの特徴を有し、アルミニウム電解コンデンサーの誘電体皮膜として重要である。 接合酸化物皮膜は、数多くのポイドを含み、これが電解コンデンサーの性能に大きな影響を及ぼす。 本研究は、複合酸化物皮膜中のポイドの補修のための再アノード酸化に対する南アノード酸化の前処理としての熱水処理および化学処理の効果を調べたものである。