陽極酸化アルミナテンプレートを利用した電析コバルトナノワイヤー配列素子の作製

摘要

陽極酸化アルミナ被膜は、耐熱性、耐摩耗性に優れ、孔径をナノスケールで制御可能であり、孔が膜面に対して垂直に配列した構造を有するため、様々な形状のナノ構造体形成におけるテンプレート材料として適している。例えば強磁性金属を封入することでハードディスクドライブなど磁気メモリ材料等に適用可能である。しかし、この陽極酸化アルミナ被膜をフィルターとして利用するには金属/酸化被膜界面に存在するバリア層を除去し、開孔させる必要がある。このバリア層を除去し、陽極酸化アルミナ被膜をフィルターとして効率良く得るためには、逆電解剥離法等の連続プロセスを適用する必要がある。この逆電解剥離法は、陽極酸化電圧を徐々に降下させてバリア層を薄くし、その後の陰極運元における水素ガス発生により基材のアルミニウムからアルミナ被膜をメンプレンフィルターとして剥離させる手法である。そこで本研究では孔径100nm以下のアルミナ製メンプレンフィルターを逆電解剥離法により作製し、この孔内に強磁性金属ナノワイヤーを電析させることを目的とした。