半導体工場における蒸気と燃料使用量の削減による省エネ事例

摘要

近年建設された第3，4クリーンルーム棟では，従来空調では，加湿，加温に使用していた蒸気を水滴下式加湿や廃熱回収渇による加温に変更し100％蒸気レス化するなど，最新の省エネ技術の導入により，大きな省エネを実現している。一方，高温の熱源を必要とする工程や，既存の設備では依然多くの蒸気を使用している。今回そのような蒸気消費設備と，ボイラーの運転管理で注力した4件の改善事例について紹介する。