ナノインデンテーション装置の紹介局所領域の機械特性評価方法

摘要

従来の機械的物性評価方法は，膜の密着性ではマイクロスクラッチ法，硬さ測定ではマイクロピッカースなど光学顕微鏡を用いた手法が多く，微小パターン構造の局所の機械特性を評価したい場合には，光学顕微鏡観察ができない領域での評価のため向かない。本稿では，光学顕微鏡を使用せずにナノスケールの機械的物性を評価する手法の中で，特にナノインデンテーション法，ナノスクラッチ法，走査型摩耗試験について簡単に紹介する。