ナノインデンテーション法による微小領域及び薄膜の機械特性評価技術

摘要

ナノインデンテーション法による硬さ測定と従来法であるビッカース硬さ試験法を比較·検討し，微小領域の硬さ評価ではビッカース硬さ試験よりもナノインデンテーション法が有効であることを検証する．硬さデータのばらつきの要因について調査した結果をもとに，データを解釈する上での留意点を提言する．最後に，連続剛性測定法による鋼材中微細組織とDLC薄膜の評価事例について紹介する．