＜表面分析機器＞大型試料対応非破壊三次元白色光干渉型顕微鏡

摘要

「NPFLEX」は，304×304×249mmにわたる試料搭載スペースによりエンジンシリンダーなどの大型試料の非破壊3D形状測定に最適な三次元白色干渉粗さ計。特長①様々な大型試料へのフレキシブルなアプローチを実現：304×304×249mmにわたる試料搭載スペースを実現（スペーサー対応により更なる大型試料にも対応），±45度まで振れる傾斜調整ヘッド搭載により，局所的表面形状測定が可能，防振性能を極限まで高めた高性能空気バネ式防振台と光学計の一体設計。