超大型基板を使ったFPD製造とその課題·動向：FPD工場における自動搬送システムの現状

摘要

この10年間で，液晶パネルの応用範囲は大きく広がり，ノートパソコン用ディスプレイに始まり，デスクトップパソコンのモニターとしても今日では主流になっている。 また，当初は将来の夢とも考えられていたテレビへの展開が現実のものとなり，さらに不可能とも考えられていた50インチもの液晶テレビさえも登場し，今後の大きな市場と考えられている。今後の10年，20年と応用範囲を含めて展望することは難しいが，技術課題の解決に伴い大きく成長していくであろう。 ここでは搬送システムから見た，超大型基板を使ったFPD製造における現状の課題を挙げ，またその解決法の一つである枚葉生産に向けての方向について記述する。