半導体レーザーを用いた波長走査型ヘテロダイン干渉法と屈折率·厚さ分離測定への応用

摘要

波長走査干渉法は，半導体レーザーを初めとする波長可変光源を用いることにより不連続な段差で生じる位相の2πの整数倍の不確定さを回避して光路差の絶対値を測定できる点に特徴がある。特に相補的な関係にある低コヒーレンス干渉法と比べて機械的な走査を必要としないくこれまでに，波長走査干渉法は位相シフト法や光ヘテロダイン法等をはじめとする従来のレーザー干渉計で培われた技術と融合されさまざまなバリエーションが提案されてきた。 また，これと呼応して波長可変光源もいろいろなタイプが提案され，外部共振器を有し70 nmも波長を連続的に可変できる半導体レーザーが市販されるに至っている。 本稿では，波長走査干渉法の一種である波長走査型ヘテロダイン干渉法に重点をおいて解説し，その応用の1つとして屈折率·厚さ分離測定について紹介する。