プリンタブルフォトニクスを用いたナノフォトニクスデバイス作製と光学バイオセンサーへの応用

摘要

しかし，ナノフォトニクスを駆使したバイオセンサー作製は容易ではない。ナノメートルサイズの構造を基板上に作製するには電子線描画（Electron beam lithography：EBL）装置，集束イオンビーム（Focused ion beam：FIB），誘導結合プラズマ反応性イオンエッチング（Inductively coupled plasma reactive ion etching(ICP-RIE））を用いて，クリーンルーム環境下にて作製する必要がある。これら装置·施設は高い精度·再現性を有するデバイスを作製するためた必要不可欠なものであるが，高い技術を必要とし，再現性が得られるまで時間を要する。また，再現良く大量に製造することはコストがかかるといった課題があった。そこで，筆者らはナノインプリントリソグラフィー（Nanoimprintlithography：NIL）を用いたナノフォトニクスデバイス製造技術を「プリンタブルフォトニクス」として提案し，バイオセンサーへの応用を行っている。本稿では，プリンタブルフォトニクスを用いたデバイス作製とバイオセンサー応用について紹介する。