光ネットワーク創世を自指す光半導体集積化技術－通信用光半導体集積素子のための結晶成長技術と加工プロセ不技術

摘要

インターネットの普及，特に近年のADSL (Asymmetric Digital Subscriber Line)やFTTH (Fiber to The Home)を用いたアクセス系へのブロードバンドサーゼス導入により，ネットワークトラフィックの急激な増加が続いている。 この伝送容量拡大に対応すべく開発が進められている波長分割多重(WDM: Wavelength Division Multiplexing)システムの実現には，光デバイスからの新たなブレークスルーが必要であると考えられる。 光半導体集積はこの問題に対する部品技術からの回答である。 レーザ·変調器·受光素子等の光部品をモノリシックに集積することは，チップサイズのコンパクト化，組み立てコストの低減などを可能にする。 本稿では高機能·高性能な光半導体集積素子を製作するために不可欠な，有機金属気相成長(MOVPE: Metalor anic Vapor Phase Epitaxy)法とドライエッチング技術を取り上げて，それらの特徴について解説すると共に，新たに研究開発した方法について述べる。