東大と夏目光学、精密加工·精密転写技術を組み合わせ回転体型の高精度X線ミラーの製造技術を確立

摘要

東京大学大学院工学系研究科の三村秀和准教授、夏目光学の共同研究グループは、軟X線を微小に集光可能な、従来にないタイプの高精度回転体X線ミラーの開発に成功した。このミラーは、チューブ形状をしており内側がX線を反射する面になる。研究では、ミラー形状と反転形状を持っ型を高精度に作製し、同じ精度で形状をコピーすることでミラーを作製する方法を開発した。回転体型の高精度X線ミラーはチューブ形状で、ミラー内面をX線が反射し集光する。