ガス放出の超低下を実現した超高真空装置と真空部品の開発

摘要

山口大学の栗巣普揮准教授は、チタン材料の真空性能が既存材料よりも格段によいことを明らかにするとともに、次世代の電子デバィスや放射光源用などへの超高真空装置、真空部品を開発した。 具体的に同准教授は、チタンの表面処理技術である精密化学研磨処理法を開発し、ガス放出量が既存材料と比べて2けた以上も少ない6 ×10のマィナス13乗Paを実現するとともに、チタンの加工·溶接技術を確立することによってチタン製の真空装置の開発に成功したもの。