ソニー、5μm画素で可視光から非可視光帯域まで撮像可能な産業機器向け短波長赤外イメージセンサーを商品化ヘ

摘要

ソニーは、5μm画素で可視光から非可視光帯域まで撮像可能な産業機器向けSWIR（短波長赤外）イメージセンサー「IMX990」「IMX991」を商品化する。IMX900は1／2型（対角8．2mm）、有効134万画素で、IMX901は1／4型（対角4．1mm）、有効約34万画素となっている。両センサーは、InGaAs層で形成したフォトダイオードと読み出し回路を形成したSi層をCu－Cu接続することで画素ピッチが縮小されており、画素サイズが511mに抑えられている。従来技術ではInGaAs層とSi層の接合にバンプが用いられていたため、バンプピッチの確保が必要となり微細化への障壁となっていた。