クリーン化分科会の現状と今後の活動

摘要

クリーン化分科会は，平成2年5月に発足し今年で18年目を迎える。 コーディネータに東京工業大学大学院情報理工学研究科の藤井修二教授，副コーディネータに金沢大学大学院自然科学研究科の大谷書生教授のご指導のもと，分科会活動として年に3～4回，半導体·FPD，薬品·食品等の各分野におけるクリーン化技術講演会と工場施設見学会を実施している。