一般的には,静電容量センサ電極としてITO (Indium Tin Oxide:酸化インジウムスズ)材料が用いられているが,表面抵抗率が高いITO材料で低抵抗とする場合,センサ電極の厚膜化が必要になり,透過率の低下や,センサパターンが視認されやすくなるなどの課題がある。三菱電機ではITO材料より低抵抗の微細金属配線を使用し,産業用途に適したタッチパネルを開発した。センサ設計の最適化と低反射微細配線プロセス技術によって,15型の画面サイズ,保護ガラス2.8mm厚,グラスボンディング構造の試作機で,全光線透過率93%,高感度で手袋操作を可能とするタッチパネル性能を達成した。現在,同技術を使用したタッチパネル付液晶モジュールの製品化を進めている。
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