透過電子顕微鏡

摘要

透過電子顕微鏡 (transmission electron microscope, TEM)は，電子が透過できる程度（数十nm?数百nm) に薄く加工した試料に電子線を照射し，試料の内部構造を観察する手法である。数千倍の低倍率から数百万倍の高倍率までの観察が可能であるため，金属や半導体などの材料分野のほか動植物細胞の観察など，生物学の分野においても幅広く利用されている1 )2)。また，形状観察だけではなく結晶性材料の構造を解析したり，付属の検出器によって観察領域の元素分析を行うことも可能である。 本稿では，TEMの基本的な原理や像形成時のコントラストと応用例について紹介する。