日立卓上顕微鏡「TM-1000」Miniscope

摘要

走査型電子顕微鏡(SEM)は，生物·材料·化学·電気など多岐にわたる分野で表面観察および分析に利用されている。 しかし，光学顕微鏡に比べ汎用的に使用される装置となっていない。主な要因は，装置の設置条件に制約があること，操作習得に時間を要すこと，試料作成に習熟を要すことなどが上げられる。 そこで，弊社ではより汎用的に使用される装置として，新しく小型の走査型電子顕微鏡TM-1000を開発したので紹介する。