電界放出形走査電子顕微鏡S-4800

摘要

エレクトロニクス分野,機能性材料や薄膜などの材料分野,あるいは酵母や製薬などのバイオテクノロジーの分野では,超微細構造を観察するために,高性能な走査電子顕微鏡(Scanning Electron Microscopy, 以下SEMと略す)が不可欠になっている。 特に半導体デバイスの分野においては,パターンの高集積化·微細化·多層構造化に伴い,それらを解析するためのSEMの高性能·高機能化が必要となってきている。 こうしたニーズに対応して,コストパフォーマンスの高い,超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM) S-4800(タイプ1,タイプ2)を発売した。