S－4300SE/N形走査電子顕微鏡

摘要

近年，走査電子顕微鏡（以下SEM）に求められるニーズとして，微細構造観察のための高分解能化や大型試料観察への対応，非導電性試料の非破壊／無処理観察などがあり，それらに応えるためSEMは多様化している。 その中でも特に品質管理においては試料の非破壊／無処理観察に対する要求が高く，低真空タイプのSEM が普及している。 一方，低真空SEMの高分解能化への取り組みも行われており，低真空二次電子検出器（ESED; Environmental Secondary Electron Detector）の開発ヤショットキーエミッション電子銃の搭載によりその分解能は飛躍的に向上した。 今回は低真空雰囲気で高分解能観察を実現したS－4300SE／N形SEM の特長を紹介する。 図1にS－4300SE／N外観を示す。