Aperturkorrelation und Koordinatenmessgerateintegration: Schneller in der Oberflachenmesstechnik

摘要

Schnelligkeit spielt fur die Produktion eine wichtige Rolle. Das gilt besonders fur die Messtechnik, die in der Produktion vorwiegend Informationen zur Konformitatsprufung und Prozessregelung liefert. Diese Informationen sollten schnell bereitgestellt werden, um den Produktionsfortschritt nicht zu verzogern. Das schnelle Bereitstellen von Information ist einerseits durch schnellere messtechnische Verfahren selbst zu realisieren. In diesem Zusammenhang werden oft optische Verfahren genannt. Bei der Konfokal-Mikroskopie zur Messung der Oberflachen-Topographie mittels Laserscanning-Mikroskopen wird zwar eine hohe Auflosung erzielt. Das punktweise Erfassen der Oberflache kostet aber Zeit. Losungen zur gleichzeitigen Aufnahme mehrerer Punkt mit einer rotierenden Lochblende verringern die Aufnahmequalitat, weil sich die gleichzeitig beleuchteten Punkte gegenseitig beeinflussen. Im Konfokalmikroskop Zeiss Smartproof wird die Oberflache mit unterschiedlichen Blenden erfasst und die gegenseitige Beeinflussung durch die sogenannte Aperturkorrelation korrigiert. Damit lasst sich die Oberflachenerfassung signifikant beschleunigen ohne Abbildungsqualitat zu verlieren.