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机译:单个真空循环中铝表面复合电子 - 离子等离子体加工
Russian Acad Sci Siberian Branch Inst High Current Elect Tomsk Russia;
Russian Acad Sci Siberian Branch Inst High Current Elect Tomsk Russia;
complex single-cycle treatment; film/substrate system; nitriding; surface alloying; formation of hard coatings; pulsed melting; structure; properties;
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