Thermische MEMS-Vakuumsensoren fur den Grob- bis Hochvakuum-Bereich

摘要

Vakuummeter, deren Messprinzip auf der Druckabhangigkeit der Gas-Warmeleitfahigkeit beruht (sog. Pirani- oder Warmeleitfahigkeits-Vakuummeter) sind Standard-Messgerate fur den Grob- und Feinvakuum-Bereich (von Atmospharen-druck bis ca. 10~(-3) mbar). Allerdings ist ihre Empfindlichkeit nahe Atmospharendruck sehr gering und unterhalb 10~(-3) mbar nicht mehr ausreichend. Durch Umsetzung des thermischen Messprinzips in MEMS-Sensorchips konnten miniaturisierte Vakuumsensoren mit deutlich erweitertem Empflndlichkeitsbereich (10~3 mbar bis 10~(-6) mbar) und extrem geringem Platz- und Energiebedarf realisiert werden, die u. a. im Rahmen der NASA-Marsmission zum Einsatz kommen.