机译:等离子体清洁过程在MEMS滤波器微组件中的应用
55th Res Inst China Elect Technol Grp Corp 166 Zhengfang Cent Rd Nanjing 211100 Jiangsu Peoples R China;
55th Res Inst China Elect Technol Grp Corp 166 Zhengfang Cent Rd Nanjing 211100 Jiangsu Peoples R China;
55th Res Inst China Elect Technol Grp Corp 166 Zhengfang Cent Rd Nanjing 211100 Jiangsu Peoples R China;
MEMS filter; plasma cleaning; spreading area; void rate; wire bonding;
机译:等离子体清洁过程在MEMS滤波器微组件中的应用
机译:用于化学中性碳清洁方法:用于自由电子激光器的Ni,Rh和Al反射光学涂层和薄铝过滤器的等离子体清洁和同步辐射束线
机译:用于化学中性碳清洁方法:用于自由电子激光器的Ni,Rh和Al反射光学涂层和薄铝过滤器的等离子体清洁和同步辐射束线
机译:用于声学信号处理应用的高性能MEMS带通滤波器
机译:高线性度1.5-2.5 GHz RF-MEMS和基于变容二极管的可调谐滤波器,用于无线应用。
机译:基于RF-MEMS的裂环谐振器(SRR)在可重构阻带滤波器实现中的应用:综述
机译:朝向化学中性碳清洁工艺:用于自由电子激光器的Ni,RH和Al反射光学涂层和薄铝过滤器的等离子体清洁和同步射线束线应用
机译:从噪声观测中估计滤波后的标记泊松过程及其在信号处理中的应用。