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机译:MEMS动态与控制的特殊问题简介
NIST Phys Measurement Lab Micro &
Nanoelectromech Syst MEMS NEMS Gaithersburg MD 20899 USA;
Univ Michigan Dept Mech Engn Ann Arbor MI 48109 USA;
Univ Calif Los Angeles Dept Mech &
Aerosp Engn Los Angeles CA 90032 USA;
机译:MEMS动态与控制的特殊问题简介
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