Design and optimization of DETF resonator based on uncertainty analysis in a micro-accelerometer

Shi Huichao; Fan Shangchun; Li Wenlong

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Design and optimization of DETF resonator based on uncertainty analysis in a micro-accelerometer

机译：基于微观加速度计的不确定性分析的DETF谐振器的设计与优化

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Boundary structure and geometry parameters of the Double-Ended-Tuning Fork (DETF) resonator in a micro-accelerometer are investigated. The theoretical vibration model of a DETF resonator is established and verified by the simulation results obtained by finite element method. Uncertainty analysis incorporating the parametric uncertainty distribution is conducted by establishing the sample-based stochastic model to systematically investigate the influence of different geometry parameters of the DETF resonator on the natural frequency and the sensitivity of DETF resonator. The results reveal the different influences of geometry parameters, which can be used as reference for design and optimization of the DETF resonator of the micro-accelerometer.

机译：研究了微观加速度计中双端调谐叉（DETF）谐振器的边界结构和几何参数。通过有限元方法获得的模拟结果建立和验证DETF谐振器的理论振动模型。通过建立基于样品的随机模型来系统地研究DETF谐振器对DETF谐振器的自然频率和灵敏度的不同几何参数的影响，通过建立基于样品的随机模型来进行参数不确定分布的不确定性分析。结果揭示了几何参数的不同影响，可用作微加速度计的DETF谐振器的设计和优化的参考。

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来源
《Microsystem technologies》 |2018年第4期|共10页
作者
Shi Huichao; Fan Shangchun; Li Wenlong;
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作者单位

Beijing Univ Chem Technol Coll Informat Sci &

Technol Beijing 100029 Peoples R China;

Beihang Univ Sch Instrument Sci &

Optoelect Engn Beijing 100191 Peoples R China;

North Automat Control Technol Res Inst Taiyuan 003003 Shanxi Peoples R China;

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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类微电子学、集成电路（IC）;
关键词

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