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机译:微流体通道的光化加工工艺参数优化
SPPU Pune SCOE Vadgaon Bk Dept Mech Engn Pune Maharashtra India;
SPPU Pune VIIT Kondhwa Dept Mech Engn Pune Maharashtra India;
PCM; etching; phototool; undercut; MRR; DoE; WGRA; microchannel;
机译:微流体通道的光化加工工艺参数优化
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