机译:铝栅极化学机械平面化模型,包括化学和机械效果
Institute of Microelectronics Chinese Academy of Sciences Chaoyang District Beijing 100029 China;
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机译:结合了化学和机械效应的HKMG工艺的铝门化学机械平面化模型
机译:电化学机械平坦化和化学机械平坦化对两步抛光工艺的影响
机译:MOSFET替代金属栅极工艺中铝化学机械平面化的缺陷控制
机译:基于混合效应模型的热数据在化学机械平坦化过程中的失效模式识别
机译:通过化学机械平面化对多层金属化结构的铝和铜薄膜进行构图的工艺和机理研究。
机译:测定电弧炉渣的化学物理和力学特性及其利用过程的环境评价作为沥青混合物的聚集体
机译:铝薄膜化学机械平面化的基本电化学方面