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机译:光学干涉法厚透明层厚度测量综述
Korea Res Inst Stand &
Sci Div Phys Metrol 267 Gajeong Ro Daejeon 34113 South Korea;
Korea Res Inst Stand &
Sci Div Phys Metrol 267 Gajeong Ro Daejeon 34113 South Korea;
Korea Univ Sci &
Technol Dept Sci Measurement 217 Gajeong Ro Daejeon 34113 South Korea;
Korea Univ Sci &
Technol Dept Sci Measurement 217 Gajeong Ro Daejeon 34113 South Korea;
Korea Res Inst Stand &
Sci Div Phys Metrol 267 Gajeong Ro Daejeon 34113 South Korea;
Optical interferometry; Thickness measurement; Non-contact measurement;
机译:光学干涉法厚透明层厚度测量综述
机译:在低相干扫描干涉法中使用光谱反射率测量来局部检查厚透明层的折射率和厚度
机译:光学透明层状结构厚度测量中的光谱干涉
机译:光谱分辨相移干涉法测量透明薄膜层的厚度轮廓
机译:光学干涉法测量轴对称拉伸中润滑剂薄膜的厚度
机译:近轴自参考干涉法测量透明液膜的厚度
机译:使用白光扫描干涉测量法与反射测量法相结合的透明薄膜层的厚度和表面测量