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机译:用于在气相沉积过程中钽烷基酰胺的分压测量的非运动红外气体分析仪
Material Measurement Laboratory National Institute of Standards and Technology;
Material Measurement Laboratory National Institute of Standards and Technology;
Material Measurement Laboratory National Institute of Standards and Technology;
EMD Performance Materials;
Atomic layer deposition; ALD; chemical vapor deposition; CVD; dimethylamine; DMA; infrared absorption; nondispersive infrared gas analyzer; NDIR; pentakis(dimethylamido) tantalum; PDMAT;
机译:用于在气相沉积过程中钽烷基酰胺的分压测量的非运动红外气体分析仪
机译:用非分散红外气体分析仪测定少量空气样品中的水蒸气。
机译:氮化钽的金属有机化学气相沉积过程中NH_3对烷基酰胺的氨基转移反应的计算研究
机译:低压金属有机化学气相沉积法制备高响应性GaInAs / InP量子阱红外光电探测器
机译:发射傅里叶变换红外光谱作为高气压下硅化学气相沉积的原位探针
机译:汽液化学气相沉积法在钽基板上制备InxGa1-xN纳米线
机译:通过非分散红外气体分析仪测定小空气样品中的水蒸气