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机译:通过远程氢微波等离子体CVD形成的碳化硅,碳氮化硅和氧化硅氧化硅薄膜
biocompatibility; Remote hydrogen plasma; silicon-based precursor; CVD process; properties of thin films; silicon carbide film; silicon carbonitridefilm; silicon oxycarbide film;
机译:通过远程氢微波等离子体CVD形成的碳化硅,碳氮化硅和氧化硅氧化硅薄膜
机译:碳化硅和碳氮化硅薄膜涂层的远程氢微波等离子体化学气相沉积中有机硅前体的反应性
机译:使用四甲基二硅氧烷前驱体通过远程微波氢等离子体CVD制备碳氧化硅薄膜
机译:通过VHF-PECVD沉积的铝掺杂氢化纳米晶立方碳化硅膜用于硅基薄膜太阳能电池的p型窗口层
机译:通过聚合物源化学气相沉积合成的非晶碳化硅和碳氮化硅薄膜的表征。机械结构和金属界面性能
机译:通过快速热退火工艺增强氢化非晶碳化硅薄膜的光致发光
机译:通过远程氢微波等离子体CVD由三乙基硅烷前体形成的非晶氢化碳化硅(a-SiC:H)膜的生长机理和化学结构:第1部分