EUV光源を安価に 東工大が新材料技術 高分子電解質を活用

摘要

東京工業大学は3日、従来ょりも安価にEUV(極紫外線、波長13.5ナノメートル)光を得られるターゲッ卜材料技術を開発したと発表した。これまで溶けたスズ滴にレーザーを2回照射していたが、高分子電解質を使う新材料は1回照射で済み装置も小型化できる。次世代の波長6ナノ讨にも対応可 能。半導体レジスト開発やがh治療装置などに適用を考えている。