高出力インパルスマグネトロンスパッタリング（HiPIMS）法＜HiPIMS成膜振術の特徴とその適用＞

摘要

精密金型は、表面の摩耗を防ぎ、金型寿命を延ばすために金型表面に硬質皮膜を成膜する場合が多い。金型表面の皮膜に要求される特性としては、密着性が良く、機械的特性に優れ（皮膜が緻密で硬質）、平滑であること、そして、付き回り性が良いことなどが挙げられる。近年、精密金型成型品の製品精度に対する要求が高くなるにつれ、従来の成膜法と比較して、より平滑で、より付き回り性が良いことに加えて、金型そのものの寸法が成膜中に狂いにくい低温成膜法が求められている。