新しいナノインプリント法による低ダメージ大面積対応転写技術－ナノキャスティング法によるナノ転写―

摘要

ナノ成形を行う方法として熱および光ナノインプリント法が盛hに研究開発されている（図1）。 ナノインプリント法は，優れた解像性と経済性が実証されており，ナノ構造を工業的に広く作製する転写技術として大きな期待が寄せられている。