パラジウム水素分離薄膜システム設計の段階へ

摘要

20μのパラジウム－銅合金圧延箔を円筒形支持体に収めた水素分離膜モジュールやモジュールを採用した水素精製装置を展示、各種実証データ類も公表する。分離膜を透過させると水素は純度6Nの超高純度レベルになり、MOCVD装置の水素精製など精製用途のほか、各種改質法による水素製造の現場で活用できる。