SiC量産化対応製品を出展

摘要

オンサイト装置やシリンダーキャビネットのオペレーションから排ガス除害まで、ガス供給の上流から下流まで一貫して管理しているトータルソリューションを展開している姿を紹介する。 なかでもPFC除害、特殊材料ガス供給はもっとも需要なキーエレメントとなるが、ガスだけでなく薬液供給関連技術についても紹介する。 具体的には、液体ソースバブリングシステム、薬液濃度管理ユニット（自動適走装置）、薬液定流量制御ユニット、CMP付帯設備など。