東京エレクトロンテクノロジーセンタすつくぼ4月1日に開設予定

摘要

東京エレクトロン（竹中博司社長）は、茨城県つくば市に建設していた研究開発施設「東京エレクトロンテクノロジーセンターつくば」を竣工し、3月14日に竣工式を開催した。4月1日の開設を予定している。新設された同センターは太陽電池製造装置事業のプロセス開発·評価を行うとともに、半導体製造装置事業の新たな基盤技術やコア技術の研究開発、同社の保有する製造装置技術をベースとした新規分野の技術開発を行うとしている。詳細は次の通り。