大気圧プラズマ式KPLシリーズ新機種などを紹介

摘要

2011年の販売開始以来、国 内外の半導体工場を中心に累計出 荷台数1900台を突破した大気 圧プラズマ式除害装置KPLシ リーズ。今回はそのシリーズ新機 種となる「New - KPL」と開発が 進む「KPL - Multi」などの紹介 を行う。