リンデ 上海華カ12ィンチフアブ でASU稼働

摘要

リンデはー月下旬、中国上 海で、Shamghai Huali Micro- electronics (上海華力、HL MC)の12インチウエハーフ アブに設置した窒素、高純度 酸素、さらにアルゴンを供給 するための新たなASUを稼 働した。同社はまた、水素と ヘリウムもHLMCに供給す る。