韓SKマテリアルズ 半導体向け高純度(99. 999%)フッ化水素の 量産を開始

摘要

韓国のSKマテリアルズ が、高純度(純度999%) フッ化水素(HF)の量産を 開始した。6月17日の同社ホ ー厶ぺージで明らかにした。 高純度フッ化水素は、半導体 製造に使われる洗浄ガスとし て、半導体プロセスの微細化 で需要が急増しているが、こ れまで韓国内での製造は無 く、日本のステラケミファ、 森田化学工業、昭和電工など 海外製品への依存度が100 %に達する製品であった。