海外向けに1万m~3クラスの精製装置が盛況

摘要

2015年度の精製装置市場は前年と変わらず半導体向 けに出荷が好調で、市場規模は前年比9％増の60億円で推移したとみられる。海外の半導体メーカーを中心に窒素用の常温吸着式で1万m~3／hクラスの装置納入が盛hだった模様だ。