(PS176) LIBS を用いた鉄鋼材料の長距離計測技術の開発

摘要

元素組成計測法としては，化学計測と分光計測が挙げられる．化学計測は，非常に微量な成分の検出も可能であるというメリットがあるが，クリーンルームなど設備が必要である．一方，分光計測は，化学計測に比べて計測精度は落ちるが，計測から結果が得られるまでの時間が短いためリアルタイムな計測が可能である．分光計測には,レーザを用いたLIBS（Laser Induced Breakdown Spectroscopy，レーザ誘起ブレークダウン法）という成分分析技術がある[1]．レーザを用いることにより非接触かつリアルタイム計測が出来るという利点がある．しかし，LIBS を適用した実験の多くは焦点距離1m 以下で行われている.