(J053)VO2 膜の正方晶-単斜晶変態に対する格子歪の効果

摘要

VO2 は室温近傍で金属-絶縁体相転移を示すことから、材料物性に関わる基礎研究のみならず、デバイス開発の面からも広く注目を集めている。VO2 の金属-絶縁体相転移は、正方晶-単斜晶型の格子変態と同時に起こる。この格子変態は一次の相変態であるために、相変態温度は結晶に負荷される応力（結果的に結晶が被る歪の状態）に依存する1)。例えばバルク結晶と比べて、単結晶基板上に成膜したVO2 薄膜では界面近傍の格子歪によって相変態温度域が広がるという報告がある。本研究では、透過電子顕微鏡を用いてVO2 膜の結晶学的微細構造、特に基板との界面近傍に残存する正方晶相の存在形態を明らかにすることを目的とした。